MEMS熱式氣體流量傳感器設(shè)計(jì)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：wwei
文檔大?。?span>4043 K
標(biāo)簽： 流量檢測(cè) COMSOL仿真 熱式流量傳感器
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文檔介紹：在工業(yè)生產(chǎn)過程中提供準(zhǔn)確的流量檢測(cè)信息對(duì)于系統(tǒng)性能的提升有著重要的作用，基于MEMS技術(shù)制造出的熱式流量傳感器通過采集溫差變化來反映管道內(nèi)流量變化，具有體積小、精度高、微流量段靈敏的特點(diǎn)。介紹了熱式流量傳感器的熱分布模型，利用COMSOL Multiphysics軟件對(duì)管道內(nèi)的流量傳感器進(jìn)行電場、流場和熱場的耦合仿真，確定傳感器芯片的關(guān)鍵參數(shù)。采用MEMS加工工藝制造流量傳感器芯片，搭建標(biāo)定測(cè)試平臺(tái)，對(duì)傳感器芯片進(jìn)行封裝測(cè)試。傳感器測(cè)量范圍達(dá)到300 SLM，數(shù)字輸出準(zhǔn)確度等級(jí)達(dá)到1.0，模擬輸出準(zhǔn)確度等級(jí)達(dá)到1.5。
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